طراحی و ساخت مولّد فرکانس رادیویی و جعبه تطبیق امپدانس 13.56 مگاهرتز 600 وات برای تشکیل پلاسمای فرکانس رادیویی

مولّد فرکانس رادیویی 600 وات با فرکانس 13.56 مگاهرتز در حقیقت یک منبع سیگنال سینوسی در محدوده ی فرکانس های رادیویی است که می تواند توانی معادل با 600 وات را به یک بار الکتریکی 50 اهمِ خالص تحویل دهد . فرکانس 13.56 مگاهرتز قسمتی از باند فرکانس رادیویی است که به کاربردهای علمی، صنعتی و پزشکی اختصاص داده شده است. کاربرد خاص این مولّدهای فرکانس رادیویی تولید پلاسمایی خاص، موسوم به پلاسمای rf است. بعضاً در کاربرد لایه نشانی نیاز به نرخ لایه نشانی بالا می باشد و یا در فرآیند زدایش لازم است که نرخ زدایش بالا باشد در این-گونه موارد بایستی از مولّدی با توان بالاتر استفاده شود. همچنین در بعضی از کاربردهای صنعتی سطح الکترود rf بزرگ است و مولّدی با توان پایین قادر به تولید چگالی پلاسمای مورد نیاز نیست به همین منظور از مولّد با توان بالاتر استفاده می شود. خروجی دستگاهی که به دنبال ساخت آن هستیم، سیگنالی سینوسی با فرکانس 13.56 مگاهرتز و توانی حدود 600 وات است. از آنجایی که محفظه ی پلاسما از نظر الکتریکی باری متغیر با زمان محسوب می شود و امپدانس آن از ابتدای فرآیند تا انتهای آن ثابت نیست، لازم است که بین مولّد فرکانس رادیویی و محفظه ی پلاسما یک شبکه ی تطبیق قرار دهیم. در حقیقت ما در جعبه ی تطبیق امپدانس سعی می کنیم که با اندازه گیری امپدانس محفظه و اعمال کنترل مناسب بر روی المان های موجود در آن، مولّد فرکانس رادیویی در تمام طول فرآیند (با وجود تغییر بار الکتریکی محفظه) در خروجی خود بار 50 اهم خالص را ببیند.